ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAP6D

商品情報
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●ゴムの薄膜(ダイヤフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。
●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。
●排気速度(L/min)50/60Hz:6/7●到達圧力(Pa):6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm):Rc1/8●電源(V):単相100●寸法(mm):93×163×100.6●騒音値(dB):-●電源:単相100V●質量(kg):1.9
●サーマルプロテクタ付●低速低圧用●異電圧対応可(お問い合せください)
●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合がありま
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